氣體低溫冷凝泵

　　氣體低溫冷凝泵是利用低溫表麵來凝聚氣體分子以實現抽氣的一種泵，是真空鍍膜設備目前獲得極限真空高，抽速至大的抽氣泵。冷凝泵是依靠製冷機獲取冷量,利用低溫表麵冷凝和吸附氣體的物理過程來獲得和保持真空。真空度高(可達10-8Pa)、清潔無油、對各種氣體都具有較大抽速等特點,同時它可以長期可靠運行,是分子泵、油擴散泵無法比擬的。因此,在半導體器件的生產過程中,廣泛運用於蒸發、濺射、離子注入、分子束外延等工藝。

　　氣體低溫冷凝泵應用原理：

　　1.在真空係統中，水蒸氣是影響抽真空裝置抽氣速度的障礙，水汽捕集泵可以快速有效捕捉係統殘餘空氣中65%到95%的水蒸氣，減少抽水蒸氣所耗費的時間，效率高達80%。在現有的抽真空係統中加裝KD深冷捕集泵，可以增加產能30%以上；還可以提高鍍膜機的穩定性，提高膜層附著力，從而提高鍍膜品質。

　　2.在真空係統中，水蒸氣是的汙染源，因此在要求更高的鍍膜品質中，若能得到更低的蒸氣分壓，可以增強膜層的附著力，提升鍍膜品質，在氣體低溫冷凝泵所抽的氣體往往是混合氣體，如空氣，因而對某一冷表麵來說同時存在“可凝性”氣體和“不可凝性氣體”。於是在低溫表麵上便發生一下奇特現象：在可凝性氣體的凝結過程中，能不斷捕獲其他非可凝成分，並降低其壓強，這種作用稱為低溫捕集。

　　氣體低溫冷凝泵可以獲得抽氣速率大、極限壓力低的清潔真空，廣泛應用於半導體和集成電路的研究和生產，以及分子束研究、真空鍍膜設備、真空表麵分析儀器、離子注入機和空間模擬裝置等方麵。